CCD传感器所基于的技术是MOS电容器(金属氧化物半导体)。如果能量超过间隙能量的光子被耗尽区吸收,就会产生电子-空穴对。电子留在耗尽区,而空穴朝向接地电极。可收集的负电荷(电子)量与施加的电压、氧化物厚度和栅电极表面成正比。可以存储的电子总数称为“阱容量”。当波长增加时,光子在增加的深度处被吸收。它显着限制了对高波长的响应。目前,可用的传感器可以从远红外线到X射线发挥作用。
CCD寄存器由一系列门组成。以系统和顺序的方式处理栅极电压,将电子像信使一样从一个栅极转移到另一个栅极。对于电荷转移,耗尽区必须相互重叠。耗尽区呈梯度,梯度应重叠,以便发生电荷转移。
每个门都有自己的随时间变化的控制电压。电压是一种称为“时钟”或“时钟信号”的方波信号。首先,在门1施加电压,光电子被收集在井1(b)中。当在栅极2施加电压时,电子像瀑布一样向阱2移动(c)。这个过程很快,两个孔之间的电荷迅速平衡(d)。当栅极1的电压降低时,势阱降低,所有电子再次级联流入阱2(e)。最后,当栅极1上施加的电压接近零时,所有电子都在阱2(f)中。这个过程重复几次,直到电荷转移到所有的移位寄存器。当栅极电压低时,它充当势垒,而当电压高时,可以存储电荷。
一个像素可以由多个门(从2到4,甚至更多)构成,有时也称为系统阶段。根据时钟信号(参见下文),对于相同的像素尺寸,像素表面的50%可用于四相系统的井,三相系统为33%。
CCD传感器矩阵是一系列按列排列的寄存器。
在每个像素通过光电效应曝光和产生电荷后,电荷通过通道或阻滞块存储在行中或列中,耗尽区仅在一个方向上重叠(列的下降,读取线的水平)。电荷转移首先发生在行与行之间,发生在内部,然后是像素间栅极跳跃。
在每一列的末尾,都有一个水平像素寄存器。该寄存器一次收集一条线,然后以串行模式将电荷包传输到输出放大器。在下一行进入串行寄存器之前,整个水平串行寄存器必须与检测节点同步。这就是为什么所有矩阵都需要独立的垂直和水平时钟。
数千次传输之间的相互作用减少了输出信号。转移电荷的容量由电荷转移效率(CTE)。虽然可以在传感器表面按像素使用任意数量的传输点(门),但我们通常使用其中的两个到四个,甚至是只需要一个时钟的虚拟相位系统。
在每个提到的系统中,该过程的步是将电荷包转换为可测量的电压。这是通过浮动二极管或浮动扩散实现的。用作电容器的二极管产生与电子数n e成正比的电压。然后,信号可以由独立于CCD传感器的电子处理器进行放大、处理和数字编码。
对于多个矩阵,可以在串行寄存器中移动多条充电线。类似地,也可以将多个元素从串行寄存器移动到输出节点之前的求和门。它被称为“装箱”、“超级像素化”,甚至“电荷收集”。装箱增加了输出信号和信号动态范围。装箱增加了输出信号和信号动态范围,但以传感器空间分辨率为代价。由于它增加了信噪比,在分辨率不是很重要的情况下,合并对于低光级应用很有趣。串行寄存器和输出节点需要更高容量的井来装箱。如果输出电容在每个像素后都没有更新,那么它会积累电荷。
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